方法是氣體放電,放電方法有:輝光、電暈、電弧、介質(zhì)阻擋放電。其中輝光放電、電弧放電屬于低氣壓放電,如果是面對(duì)大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn),低氣壓放電就不能作為等離子體產(chǎn)生的有效方法,主要存在著兩大缺點(diǎn):1、放電過程前提是在低氣壓下進(jìn)行,而且環(huán)境要求真空,因此整個(gè)系統(tǒng)會(huì)比較復(fù)雜、成本也高。2、工作過程無法做到在線連續(xù)生產(chǎn),效率很難提高,不能滿足連續(xù)生產(chǎn)的工作環(huán)境需求。大多數(shù)的工業(yè)生產(chǎn)都是在常壓下進(jìn)行的,因此大氣壓下氣體的放電研究具有了更重要的意義和價(jià)值。弧光放電等離子體的活性粒子具有較高的溫度,容易導(dǎo)致樣品損壞,電暈放電放電強(qiáng)度較弱且不均勻,使得產(chǎn)生等離子體及活性粒子效率低,所以在等離子體表面處理中不是很適用[5]。介質(zhì)阻擋放電是具有電暈放電能在高氣壓下產(chǎn)生的優(yōu)點(diǎn),因此是在大氣壓條件下獲得低溫等離子體的一種有效手段。它能夠在大氣壓下產(chǎn)生大面積的低溫等離子體
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