無序量測(OoSM)是多傳感器融合系統(tǒng)亟需解決的不可回避的問題。在總結(jié)相關(guān)文獻基礎(chǔ)上,對OoSM進行了分類,從單步延時OoSM濾波、多步延時OoSM濾波、多個OoSM濾波、非線性非高斯條件OoSM粒子濾波算法、雜波/機動目標(biāo)條件OoSM跟蹤算法等方面,按照由簡單到復(fù)雜的研究路線綜述了國外開展的相關(guān)研究,并對未來研究方向進行了探討與展望。 公共治安、食品安全、環(huán)境保護、工業(yè)生產(chǎn)過程監(jiān)測和載人航天及深空探測等領(lǐng)域急需微小型質(zhì)譜儀,用于成分在線檢測與分析。離子阱質(zhì)譜儀較其他質(zhì)譜儀具有真空度要求低、操作靈活和串聯(lián)質(zhì)譜性能良好等優(yōu)點,更加適合進行小型化和微型化。對小型離子阱質(zhì)譜、結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化-張家港數(shù)控縮管機電動液壓滾圓機價格低電動滾圓機多少錢MEMS離子阱質(zhì)譜的發(fā)展及其在航天領(lǐng)域的應(yīng)用進行總結(jié),試圖找出制約離子阱質(zhì)譜小型化發(fā)展的主要技術(shù)瓶頸,并提出了解決途徑。最后對微小型離子阱的發(fā)展及其在航天領(lǐng)域的應(yīng)用前景進行了展望。 小型離子阱技術(shù)及其航天應(yīng)用進展 11柱形離子阱僅僅包括平面的端蓋電極和圓柱形的環(huán)電極,易于加工,艘得隨形訂w/t力詞讓鶴點-14] *2002年,Purdue大學(xué)的Cooks課題組研制出mm量級 #的小型酣離子講(,把離子阱的體積減小了1個數(shù)量級,其環(huán)形電極半徑達到 圖2MEMS平面線性離子拼2.5mm,端帽電極相距5.77mm,工作氣壓達到1XlOlorr,最大質(zhì)量范圍約為等人增大了離子阱 2004年,Cooks課題組使用化學(xué)氣相淀積和鎢鑲嵌技端帽電極的孔徑,提高了離子進出阱的傳輸效率,同時離子 術(shù),成功地將10s個1@1內(nèi)徑的圓柱形MEMS離子阱集成阱的質(zhì)荷比范圍達到0~250Th[15a6]。 到0.25cm2的芯片內(nèi),并嵌入了離子檢測器,本文由張家港彎管機網(wǎng)站采集網(wǎng)絡(luò)www.wangaunjimuju.net這種離子阱的隨著體積的縮小,圓柱離子阱離子捕捉效率低的缺點 RF工作頻率高達數(shù)GHz,工作電壓降低到約10V127'^。更加突出_17_。為了有效解決這一難題,2004年,歐陽正等2006年,Cooks課題組用內(nèi)徑不超過5(xm的金屬環(huán)作人研制了小型矩形離子阱,把電極改為線性電極板,提供了 為電極構(gòu)建了圓形離子阱陣列[291。2007年,VanAmeromF充足的勢阱深度,其離子束縛率提高到80%以上,遠高于 HW等人用低壓氣相沉積、深刻蝕和光刻等MEMS工藝制圓柱離子阱的5%~10%范圍.18、這就為離子阱的進一步 造出一種電極半徑約為360的圓柱形離子阱陣列[3°]。小型化提供了可能。Cooks課題組于2005年研制出一種小YuM等人利用立體光刻等MEMS技術(shù)研發(fā)出了微型型矩形離子阱——Mini11便攜式矩形離子阱質(zhì)譜儀(如圖1 矩形離子講(rectilinear1T)[31合理的結(jié)構(gòu)參數(shù)組合可提高加速度傳感器殼體結(jié)構(gòu)的固有頻率,保證傳感器在振動環(huán)境下輸出信號穩(wěn)定。通過建立豎直薄板力學(xué)模型,確定影響加速度傳感器殼體固有頻率的結(jié)構(gòu)因素。基于響應(yīng)面法思想,利用試驗設(shè)計的方法,以加速度傳感器殼體固有頻率為指標(biāo),各結(jié)構(gòu)參數(shù)為因素,設(shè)計二次回歸正交旋轉(zhuǎn)組合試驗。通過ABAQUS6.10軟件建立各組試驗結(jié)構(gòu)參數(shù)組合下的分析模型并提取固有頻率,最終確定使固有頻率維持在較高水平的結(jié)構(gòu)參數(shù)組合區(qū)間。通過對優(yōu)化后參數(shù)進行驗證性試驗,表明優(yōu)化后區(qū)間隨機結(jié)構(gòu)參數(shù)組合下加速度傳感器殼體固有頻率能夠達到10 kHz以上。結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化-張家港數(shù)控縮管機電動液壓滾圓機價格低電動滾圓機多少錢 本文由張家港彎管機網(wǎng)站采集網(wǎng)絡(luò)www.wangaunjimuju.net
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