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2卷些圖形進行感光，進而加工出表面微納結構。1．1基本原理本文中主要研究的是勞厄激光干涉光刻系統，其原理如圖1(a)所示，當2束波長為λ，強度同為I0的平面波分別以相同的入射角θ對稱地射到同一平面，該平面的光強分布可以寫為I=2I0［1+cos(2kxsinθ)］，(1)式中k=2π/λ。因此，可在垂直于x軸方向的平面上形成光柵線條圖案，其周期為p，可以寫為p=λsinθ．(2)對于涂有光刻膠的襯底進行一次曝光后可以形成周期性的光柵結構。從公式(2)可以看出，光柵的周期由入射角和入射光波長決定，當入射光波長一定時，入射角越小，光柵周期越大;相反矩形線圈-數控滾圓機電動液壓滾圓機滾弧機價格低張家港滾壓機多少錢，則光柵周期越小，如圖1(b)所示。如果將涂有光刻膠的樣品進行一次曝光后，將其旋轉90°可以以同樣的條件進行二次曝光，在理想情況下，干涉場內的光強分布可以寫為I)在分別垂直于x，y軸2個方向的光柵焦點上，可以得到均勻分布的點陣列矩形線圈-數控滾圓機電動液壓滾圓機滾弧機價格低張家港滾壓機多少錢，其中，2個方向周期均為p。而在工藝過程中，如果通過對于曝光劑量的控制，以及2次曝光設置不同參數，可以得到更為豐富的表面結構［

www.suoguanjixie.name 9，10］。(a)%2束相干光在樣品表面光刻膠層形成周期性光強分脈沖渦流矩形傳感器是近年來渦流無損檢測的研究熱點。采用Comsol有限元仿真軟件建立了矩形探頭有限元仿真模型,并且根據仿真結果設計了矩形探頭進行缺陷檢測實驗。通過仿真和實驗的對比分析,結果表明:矩形探頭長寬高尺寸在2∶1∶1.5的比例下靈敏度、線性度最佳。2電流設定與其他參數說明圖2為線圈的俯視圖。激勵電流密度大小定義變量為其中，N為線圈的匝數，0．5為設定的電流大小，t為時間，A為線圈的橫截面積，T表示線圈的厚度，實驗設定為3mm，H為線圈的高度，d為漆包線直徑，擬定為0．3mm。按照逆時針方向設定電流密度方向，磁場方向z軸為正向。按照圖示①～⑧的順序為各個線圈添加外部電流密度，此模型的電流只需要添加x，y2個方向，z方向始終為0。如模塊1，只在x方，相對磁導率為1，電導率為σ=3．774×107S/m。激勵電流幅值大小為0．5A，頻率為100Hz。傳感器放置在試樣上方0．5mm處，即提離高度為0．5mm。2仿真實驗與結果分析本文采用單因素輪換法進行仿真實驗，即控制矩形線圈的2個變量不變，改變另外一個變量來探究傳感器的靈敏度。首次實驗保持長寬相等，改變高度來仿真，即按比例變化為1∶1∶h，h表示變化的高度，取值從1變化到2，每次遞增0．25。比例基值為20mm，線圈厚度 矩形線圈-數控滾圓機電動液壓滾圓機滾弧機價格低張家港滾壓機多少錢 www.suoguanjixie.name